PRODUCT製品情報

パルス電源

パルスモジュレータ-1kV/50A/5kHz

入力された直流電圧をパルス化して出力するパルスモジュレータ。
各種評価用電源等に最適。

用途

・プラズマCVD用パルス電源
・スパッタリング用パルス電源
・ターゲット加熱用電源
・各種パルスバイアス用電源
・各種評価試験用
・その他

1kV,50A,5kHz

受電電圧単相AC100V 50/60Hz
入力電圧0〜1kV(max)
出力電圧0〜1kV(max)
出力電流0〜50AP(max)
出力容量600mAdc
繰返し周波数1Hz〜5kHz
パルス幅1μS〜200μS
冷却方式内臓ファンによる強制空冷
保護機能過電流保護回路、過温度保護回路
インターフェース外部からのリモート制御
サイズ(mm)202(W)×140(H)×280(D)(突起部含まず)
概算重量6.5kg
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