PRODUCT製品情報
パルス電源
パルスモジュレータ-1kV/50A/5kHz
入力された直流電圧をパルス化して出力するパルスモジュレータ。
各種評価用電源等に最適。
用途
・プラズマCVD用パルス電源
・スパッタリング用パルス電源
・ターゲット加熱用電源
・各種パルスバイアス用電源
・各種評価試験用
・その他
1kV,50A,5kHz
| 受電電圧 | 単相ＡＣ１００Ｖ ５０／６０Ｈｚ |
|---|---|
| 入力電圧 | ０〜１ｋＶ（ｍａｘ） |
| 出力電圧 | ０〜１ｋＶ（ｍａｘ） |
| 出力電流 | ０〜５０ＡＰ（ｍａｘ） |
| 出力容量 | ６００ｍＡｄｃ |
| 繰返し周波数 | １Ｈｚ〜５ｋＨｚ |
| パルス幅 | １μＳ〜２００μＳ |
| 冷却方式 | 内臓ファンによる強制空冷 |
| 保護機能 | 過電流保護回路、過温度保護回路 |
| インターフェース | 外部からのリモート制御 |
| サイズ（ｍｍ） | ２０２（Ｗ）×１４０（Ｈ）×２８０（Ｄ）（突起部含まず） |
| 概算重量 | ６．５ｋｇ |
