PRODUCT製品情報
表面処理製品
既設装置の改造・オリジナル装置
今、お持ちの成膜装置等にも、弊社での改造によりプラズマイオン注入成膜装置へと進化させることが出来ます。
また既存システムによっては併用する事も可能になり、オリジナリティ溢れる装置へと変貌します。
過去作一例
- マグネトロンスパッタリング装置の改造によりスパッタ＋プラズマイオン注入成膜装置へ
- イオンビーム装置の改造によりイオンビーム＋プラズマイオン注入成膜装置へ
- 真空蒸着装置の改造によりプラズマイオン注入成膜装置へ
- アークイオンプレーティングの改造によりイオンプレーティング＋プラズマイオン注入成膜装置へ
※システムの内容によっては、一部改造が出来ない場合もございます。詳細はお問い合わせ下さい。
※改造のメリットは、大幅なコストダウンと納期の短縮です。既存システムの有効活用により、研究開発のスピードアップに効果的です。
