TECHNOLOGY技術情報

大気圧プラズマとは

装置内を真空状態にしてからプラズマを発生させる手法が一般的ですが、その方法では設備が大掛かりになり、真空にするための準備も大変です。大気圧プラズマのプロセスでは減圧の必要がなく時間を短縮でき、卓上で行えるような小型装置でもプラズマの発生が可能です。
当社の大気圧プラズマ生成用電源・システムは、豊橋技術科学大学・滝川研究室、大研化学工業株式会社との共同で製作されました。

大気圧プラズマの製品一覧はこちら

大気圧プラズマの特徴1洗浄効果

大気圧プラズマを照射するとワーク表面の有機物を除去でき、濡れ性や接着強度を高めることが可能です。

大気圧プラズマの特徴2表面改質

大気圧プラズマの照射でワーク表面に、活性種を形成することができます。

当社大気圧プラズマ発生装置の特徴

・パルス電源を用いた大気圧グロー(異常グロー)放電、誘電体バリア放電によりプラズマを発生
・室温から処理でき、投入電力を増やせば400℃程度まで処理可能
・H2、O2、N2、Ar、CH4、He等の気体をプラズマ化可能

大気圧プラズマ生成技術を応用した大気圧炎状(30cm)プラズマ

大気圧プラズマ生成技術を応用した大気圧炎状(30cm)プラズマ

大気圧プラズマの用途

物質の表面改質

・素材表面の有機物などを分解して洗浄
・水を弾きにくくする親水性の向上

環境浄化

・アセトアルデヒドなどの有害物質吸着や分解

ページTOPへ
お問い合わせ