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DLC成膜装置

PBII&D装置 中型機仕様PBII―C2000

真空装置の長さが約2m、径が1.2mと大きいため、大型ワークへのコーティングも可能です。
重量物運搬用に自動搬送台車もオプションでご用意しております。

PBII C2000

電源入力3ΦAC200V±10% 50/60Hz  約80kVA
真空槽サイズ両面扉式、サイズφ1200mm×L2000mm(約2230L)
制御方式手動運転/自動運転(タッチパネル入力)
排気完了真空圧力1.33×10-3Pa以下(1.33×10-3Pa以上なら設定変更可能)
真空ポンプターボ分子ポンプ2台、メカニカルブースターポンプ2台
ロータリーポンプ2台
ガス圧力コントロール自動圧力制御弁(300Aフランジ)2系統
真空計電離真空計、ピラニ真空計、隔膜真空計、デジタル圧力スイッチ
マスフローコントローラ7系統(Ar、H2、CH4、C2H2、N2、C6H5CH3、HMDSO)
高圧パルス電源出力電圧-20kVp、出力電流 100Ap、充電容量16kW
出力パルス立上り1μs以下(但し抵抗負荷時)
繰返し周波数 500Hz~5000Hz
パルスRF電源1500W(13.56MHz) (3000Wに仕様変更可能)
標準計測器デジタルオシロスコープ(出力電圧、出力電流)
サイズ(mm)真空装置:2830(W)×2590(H)×3000(D)
操作盤:1550(W)×1780(H)×800(D)
高圧パルス電源盤:1700(W)×1730(H)×940(D)
電源収納盤:675(W)×1450(H)×750(D)
オプション冷却水用チラー、排ガス処理装置、コンプレッサー、クライオポンプ、
自動搬送台車
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