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電源製品  



・負荷短絡時、高速で出力を停止させる内部保護機能付き


・真空プロセス装置用電源
・DCバイアス用電源
・集塵機用電源
直流電源(+750V/15A) 標準仕様
受電電圧  3相AC200V 50/60Hz
出力電圧  0〜+750V
出力電流  0〜15A
出力電力  11.25kW
出力精度  ±1%以下
定電圧安定器  ±1%以下
出力リップル  ±1.5%以下
制御方式  出力電圧一定制御(CV) 出力電流一定制御(CC)
表示  出力電圧・出力電流表示
冷却方式  内臓ファンによる強制空冷
保護機能  過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路
インターフェース  ローカル/リモート切替
サイズ(mm)  480W×199H×600D(突起部含まず)
重量  40s
パルス電源
パルス電源±5kV
パルス電源±7kV
パルス電源±10kV
パルス電源±300V
パルス電源-1kV
パルス電源PVP
高圧パルス電源
高圧バイポーラパルス電源
直流電源
直流電源300V
直流電源750V
直流電源-1kV
直流電源-2kV
電源コンポーネント
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銅平
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