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電源製品  


使用用途に応じて低電流から大電流仕様まで製品供給が供能です。
IGBTと弊社のパルス電源技術を組合せることにより高速立上り、立下りを実現しました。
パルス幅、繰返し周波数とも可変でき、用途に応じて容易に設定可能です。
過電流保護機能により、負荷変動による電源への影響を最小限に抑えることができます。


・プラズマCVD用パルス電源
・スパッタリング用パルス電源
・ターゲット加熱用電源
・各種パルスバイアス用電源
パルス電源(PVPシリーズ)標準スペック表
型式 PVP-02V50A PVP-1KV10A PVP-1KV1KA PVP-3KV10A
出力電圧  0V〜-200V 0V〜-1000V 0V〜-3000V
出力電流 0Ap〜-50Ap 0Ap〜-10Ap 0Ap〜-1000Ap 0Ap〜-10Ap
繰返し周波数 0pps〜50kpps 0pps〜30kpps 0pps〜4kpps 0pps〜40kpps
パルス幅 1μs〜20μs 1μs〜200μs 5μs〜20μs
直流電源容量 -200V/40A/8kW -1kV/1A/1kW -1kV/5A/5kW -3kV/0.3A/900W
受電容量 12kVA 2kVA 7kVA 2kVA
保護機能 過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路
使用デバイス IGBT
概略外形寸法(mm) 570W×1100H×620D(突起部含まず)
 (注)製品改良のため、スペック・外形等はお断り無く変更することもございます。 
パルス電源
パルス電源±5kV
パルス電源±7kV
パルス電源±10kV
パルス電源±300V
パルス電源-1kV
パルス電源PVP
高圧パルス電源
高圧バイポーラパルス電源
直流電源
直流電源300V
直流電源750V
直流電源-1kV
直流電源-2kV
電源コンポーネント
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