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  PEKURISトップページ> 電源製品情報> パルス電源> -1kV/40Ap/50kHz 
電源製品  


  入力された直流電圧をパルス化して出力する
 パルスモジュレータです。
 負荷変動時に高速で出力を遮断できる機能を搭載


  ・プラズマCVD用パルス電源
  ・スパッタリング用パルス電源
  ・ターゲット加熱用電源
  ・各種パルスバイアス用電源
  ・各種評価試験用
  ・その他
-1kV/40Ap/50kHz 標準仕様
品名  パルスモジュレータ
受電電圧  単相AC200V 50/60Hz
入力電圧  0〜-1kV(max)
出力電圧  0〜-1kV(max)
出力電流  パルスモード:0〜40Ap(max)
 DCモード:0〜10ADC(max)
出力周波数  125Hz〜50kHz
パルス幅  1μs〜DC(連続)(S/M/L切替方式)
表示  出力周波数表示
冷却方式  内臓ファンによる強制空冷
保護機能  過電流保護回路、過温度保護回路
インターフェース  ローカル/リモート切替
サイズ(mm)  480W×349H×600D(突起部含まず)
重量  45s以下
パルス電源
パルス電源±5kV
パルス電源±7kV
パルス電源±10kV
パルス電源±300V
パルス電源-1kV
パルス電源PVP
高圧パルス電源
高圧バイポーラパルス電源
直流電源
直流電源300V
直流電源750V
直流電源-1kV
直流電源-2kV
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