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電源製品  
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)とは、ダイヤモンドに近い特性を持つ非結晶(アモルファス)の皮膜です。 ダイヤモンドはsp3(ダイヤモンド成分)*1という結合からなる結晶構造を持ち、炭素sp2(炭素成分)*2という結晶構造で出来ています。DLCはそのsp2とsp3が混在する形で形成されている皮膜です。
以下の様な代表的な特徴を兼ね備えています。
●高硬度
  ビッカーズ硬度*3で1000〜7000Hvの硬度があり、ダイヤモンドについで硬い皮膜の一つです。
●低摩擦
  非常に摩擦係数が低く、大幅に耐磨耗性が向上します。
●耐薬品性
  バリア性が高い皮膜ですので様々な薬品を防ぐ事ができます。
●対環境性
  製造工程において、廃液等が発生せず、且つ炭素が主体の皮膜なので人体にも影響がありません。
 *1【sp3とは】
ダイヤモンドのそれぞれ炭素原子は、他の4つの炭素原子と3次元的に結合したダイヤモンド構造と呼ばれる状態をとっています。炭素原子が緻密に充填しているので、結びつきがとても強く、それがダイヤモンドの硬さと独特な輝きを与えているのです。
 *2【sp2とは】
グラファイトは、蜂の巣状に結合した炭素原子の平面が重なった状態をとっています。それぞれの炭素平面は、弱い力で結ばれているので、容易に剥がれます。そのため、鉛筆で紙をこすると剥がれた炭素の層が紙に付着して字を描くことができます。
 *3【ビッカーズ硬度】
ビッカーズ硬度とは、ダイヤモンド圧子で押し込み、その凹みの大きさから硬度を算出する方法です。単位は[Hv]で、Hardness Vickersの略称です。


 
一言でDLCといっても、DLCには種類があります。
製法、原材料の違いで、大きく性能に差が出ます。
DLCを構成する元素の割合でその違いが発生します。
大きく分けると、炭素と水素から出来ている物と、炭素のみで出来ているDLCに分かれます。
この差は、DLCを成膜する際の製法の違いの為です。固体炭素を原料とした場合は、水素フリーになり、炭化水素のガスを使用すると水素が含まれます。また水素含有のDLCでも、水素含有量の違いで、大きく性質が異なります。
その為、DLCの使用環境にあったDLCを探し出す必要があります。
この三角形はDLCの分類の概念図で、
上がダイヤモンド、左下がグラファイト、
右下が水素に相当します
DLCのコーティング方法を大きく分けると、CVD法とPVD法に分別でできます。
CVD(Chemical Vapor Deposition) 化学気相成長法
  ガスや液体を気化しガス化し、熱や光によってエネルギーを与えたり、高周波でプラズマ化したりすることにより、原料物質がラジカル化して反応性に富むようになり、基板上に吸着されて堆積します。
  温度を上げても堆積させるものを「熱CVD」、化学反応や熱分解を促進させるために光を照射するものを「光CVD」、ガスをプラズマ状態に励起する方法を「プラズマCVD」と言い、DLCはプラズマCVDによって形成されます。
  代表例
・プラズマCVD装置
・PBII&D装置
 
PVD(Physical Vapor Deposition)物理気相成長法
  高真空中で、固体のアルミニウムやチタン等の金属ターゲットに高エネルギーの原子アルゴンやそのイオン)をぶつけて、玉突きの要領で金属原子を吹き飛ばし、その金属原子をワーク表面に層状に付着させるという手法です。
  代表例
・真空蒸着装置
・スパッタリング装置
・イオンプレーティング装置
【DLCの製品適用例】
自動車業界  電磁クラッチ,バルブリフター,ピストンリング,ガスケット
半導体業界  ウェハラッピングキャリア,各種搬送部品
電機業界  シェーバー,スピーカー,磁気テープ,光学メディア
食品業界  生鮮品切断刃,パン切り刃,製麺用ロール,ペットボトル
医療業界  チューブ,義肢部品,ステント,義歯部品
その他  切削工具,ライター等の装飾,腕時計,ゴルフクラブ
 様々な分野で、様々な製品に利用されています。
パルス電源
直流電源
電源コンポーネント
 
プラズマ応用製品
液中プラズマ
大気圧プラズマ
 
表面処理製品
DLC成膜装置
PBII&D R450
PBII&D R1000
PBII&D R1500
PBII&D C600
PBII&D C2000
DLC受託加工
PEKURIS COAT NC
PEKURIS COAT AC
PEKURIS COAT CC
PEKURIS COAT SC
PEKURIS COAT HHC
PEKURIS COAT TC
PEKURIS COAT RC
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