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電源製品  
プラズマイオン注入成膜装置
 
<プラズマイオン注入成膜装置とは>
プラズマイオン注入・成膜装置(Plasma Based Ion
Implantation & Deposition:PBII&D)とは弊社と産業技術総合
総合研究所関西センター殿と共同で開発し、特許を取得
特許第3555928号)した”日本発”の全く新しいプラズマ
イオン注入技術です。DLCコーティングも可能です。
 

<製品紹介>

プラズマイオン注入・成膜装置に関する製品情報。
DLCコーティングの研究用から生産用、大型ワーク用の装置を
取り扱っております。ご希望に沿った装置のご提案ができます。
 
  
      <納入までの流れ>
      弊社製品のご提案から、納入、保守体制に至るまでの流れを紹介します。
   

      <既設装置の設置・オリジナル装置>
 
 お客様でお持ちの真空装置への改造を行い、プラズマイオン注入や
  DLCコーティングを行えるように改造致します。
  こんな真空装置が欲しい、こんなDLC成膜システムを考えているなど、
  お客様のご要望を承ります。
   
   

      <納入実績>
  過去より現在までのプラズマイオン注入成膜装置の納入実績をご紹介します 
   
パルス電源
直流電源
電源コンポーネント
 
プラズマ応用製品
水中プラズマ
大気圧プラズマ
 
表面処理製品
DLC成膜装置
PBII&D R450
PBII&D R1000
PBII&D R1500
PBII&D C600
PBII&D C2000
DLC受託加工
PEKURIS COAT NC
PEKURIS COAT AC
PEKURIS COAT CC
PEKURIS COAT SC
PEKURIS COAT HHC
PEKURIS COAT TC
PEKURIS COAT RC
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