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DLC成膜装置
DLC成膜やガスイオン注入処理が行なえるプラズマ
イオン注入成膜装置製品情報
 
      
PEKURIS COAT(ペクリスコート)  
受託加工サービス
プラズマイオン注入成膜装置を利用したDLC
(ダイヤモンドライクカーボン)の、試作・受託加工サービス情報
 
技術情報
     
プラズマイオン注入・成膜法とは
 プラズマイオン注入・成膜装置(Plasma Based Ion Implantation & Deposition:PBII&D)とは弊社と産業技術総合研究所関西センター殿と共同で開発し、特許を取得(特許第3555928号)した" 日本発"のまったく新しいプラズマイオン注入技術です。
   
     
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)とは
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)とは、ダイヤモンドに近い特性を持つ非結晶(アモルファス)の皮膜です。ダイヤモンドはsp3(ダイヤモンド成分)という結合からなる結晶構造を持ち、炭素はsp2(炭素成分)という結晶構造で出来ています。DLCはそのsp2とsp3が混在する形で形成されている皮膜です。
非常に硬く、滑り性も良く薬品に対しても強いため、製品の耐久性向上に大きく影響する、現在注目のコーティング膜です。
   

プラズマとは
プラズマ技術は今やなくてはならない重要技術です。パソコンや携帯電話などに用いられる半導体の生産にはもちろん、DLC成膜にも。家庭ではプラズマテレビやネオン管など普段の生活でも身近なところにプラズマ技術は利用されています。
 
パルス電源
直流電源
電源コンポーネント
 
プラズマ応用製品
液中プラズマ
大気圧プラズマ
 
表面処理製品
DLC成膜装置
PBII&D R450
PBII&D R1000
PBII&D R1500
PBII&D C600
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DLC受託加工
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